真空ポンプの種類と比較

真空ポンプの種類

真空を引く原理に応じて種類(容積移送式、運動量輸送式など)が分けられていますが、ここでは必要な真空度とオイルが必要かという観点で比較を行いました。

種類別名低真空中真空高真空超高真空極高真空油使用注意事項など
ロータリーポンプ油回転ポンプ必要・作動油により、真空側や大気側が汚れる
・水蒸気を含む気体を吸い続けると、作動油が劣化し故障の原因となる。
液封ポンプ水封ポンプ
(水を使う場合)
不要(水封の場合)・水蒸気を含む気体の真空引きが可能。
・到達圧が液体の蒸気圧で決まるので、それほど真空度が上がらない。
ダイアフラムポンプ不要・オイルフリー
・排気容量が小さい場合が多い
油拡散ポンプ/拡散ポンプDP
(diffusion pump)
使用・オイルが真空側に逆流する
・排気速度が大きい
・粗引きポンプが必要
ターボ分子ポンプTMP
(turbomolecular pump)
不要・オイルフリー
・粗引きポンプが必要
・内部で動翼が数万rpmで回転しており、故障・破損・急激な圧力上昇などで起こる翼の破損による事故に注意が必要。
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