真空の定義
「真空＝何もない空間」ではなく、JISでは次のように定義されています。
通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間の状態。
真空の分類
上記の定義に「大気圧より低い」とありますが、同じ真空という言葉で表すには広い範囲を含むので、一般に以下の表のような分類がされています。
| 圧力 [Pa (abs)] | 分類 | 略称 |
|---|---|---|
\(10^5～10^2\) | 低真空 | |
\(10^2～10^{-1}\) | 中真空 | |
\(10^{-1}～10^{-5}\) | 高真空 | HV (high vacuum) |
\(10^{-5}～10^{-9}\) | 超高真空 | UHV (ultra high vacuum) |
\(10^{-9}～\) | 極高真空 | XHV (extremely high vacuum) |
